| Autor(en): | Grützner, Gabi; Fortagne, Olaf; Kern, Dieter P. | |
| Tübinger Autor(en): |
|
|
| Paralleltitel: | Special issue MNE 2011 - Part II | |
| Erschienen in: |
Microelectronic engineering
(2012-10), Bd.
98,
S.
(102) |
|
| Verlagsangabe: | Amsterdam : Elsevier | |
| Sprache: | Englisch | |
| Referenz zum Volltext: | http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2012.08.001 | |
| ISSN: | 0167-9317 | |
| DDC-Klassifikation: | 530 - Physik | |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel | |
| Zur Langanzeige |